2004
総合科学施設 M社
Process Gas:dichloromethane
Flow rate:12 m3/H
Inlet vapor concentration:30 VOL%
Outlet vapor concentration:100 ppm以下
Note:排ガス規制/液回収
九州地区
2004
Process Gas:dichloromethane
Flow rate:12 m3/H
Inlet vapor concentration:30 VOL%
Outlet vapor concentration:100 ppm以下
Note:排ガス規制/液回収
九州地区